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发布时间:2022-07-11 22:54:48
单工位旋转喷淋清洗机
根据权利要求1所述的单工位旋转喷淋清洗机,其特征在于:所述主体包括清洗槽(4),所述清洗槽(4)位于顶壳(1)的内部中间,所述清洗槽(4)的顶端对应于顶壳(1)的内部设置有旋转喷块(12)。
根据权利要求2所述的单工位旋转喷淋清洗机,其特征在于:所述顶壳(1)的内部两侧设置有喷头(2),所述底座(6)的两侧对应于操作门(7)的位置处设置有支杆(5)。
根据权利要求4所述的单工位旋转喷淋清洗机,其特征在于:所述顶壳(1)的一侧设置有操作柜(11),所述操作柜(11)的表面设置有操作按钮(10)。
根据权利要求4所述的单工位旋转喷淋清洗机,其特征在于:所述底座(6)的一侧中间设置有电机(9),所述电机(9)的底端对应于底座(6)的一侧设置有空心管(8)。
转动自喷清洗机介绍
1.机器设备特性
1.1本机器设备依据待洗零件类型多,总数少的特性,选用单工位式清洗、烘干的方法;
1.2零件经人力手推式进到清洗室,布局在清洗腔房间内的自喷管对产品工件作大流量自喷,遮盖无盲点;
1.3清洗选用持续喷洗式,清洗冲洗力强悍。
此方式适用去除空气氧化膜或有机物。由于化合物在单晶硅片表面滞留的時间较为短,对反映必须一定時间的清洗实际效果不太好。在喷洗全过程中所应用的化学***非常少,对操纵成本费及生态环境保护有益。
伴随着集成电路芯片工艺加工工艺连接点愈来愈,对具体生产制造的好多个阶段也明确提出了新规定,清洗阶段的必要性日渐突显。
清洗的至关重要则是因为伴随着特点规格的持续变小,半导体材料对杂质成分愈来愈比较敏感,而半导体设备中难以避免会导入一些顆粒、有机物、金属材料和金属氧化物等空气污染物。为了更好地降低杂质对处理芯片合格率的危害,具体生产制造中不仅必须提升 一次的清洗,还必须在基本上所有制性质程前后左右都经常的开展清洗,清洗流程约占总体流程的33%。
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